首页
软件
解决方案
支持与服务
设计服务
关于TOMEDA
 
   技术资讯
   TOM 新闻
 
 技术资讯
◆  集成电路工艺仿真系统TSUPREM_Ⅳ

 关键词:集成电路工艺 计算机辅助设计 计算机模拟  TCAD TSUPREM
摘要:SUPREM 系列集成电路工艺模拟系统是当今国际上用户群最大的集成电路工艺计算机辅助设计系统。
本文介绍该系列系统的最新版本TSUPREM。

       随着微电子技术的不断发展, 集成工艺技术不程的计算机仿真。因为集成电路工艺模拟系统是集断提高, 集成电路技术越来越复杂。90 年代进入了以成电路计算机辅助设计的基础环节, 自80 年代初期, 超大规模和甚大规模集成电路为主导的微电子技术以美国斯坦福大学集成电路实验室、美国加州大学时代, 由此推动了以计算机技术为核心的信息技术伯克利分校半导体实验室以及美国贝尔实验室等率的发展, 从而掀起了一场世界工业革命。
       先进行了大量工作, 开发出并逐步升级、完善了多人类已逐步掌握了在一个只有几平方厘米大小种集成电路工艺模拟系统。目前, 比较成熟的集成电的半导体材料芯片上制造几千万个甚至上亿个晶体路工艺模拟系统是由美国斯坦福大学开发的管技术, 大量的工艺技术难点需要深入研究, 晶体SUPREM (StanfordUniversityProcessEngineering 管工艺结构参数与电特性的复杂关系已无法通过实M odels) 系列集成电路工艺模拟系统。验或人工计算获得, 必须采用计算机辅助设计CAD SUPREM 的初期版本由三大模块组成: 输入信技术, 方可实现微电子工业技术的技术进步。
       息处理模块; 输出信息产生模块及工序模拟模块。集成电路计算机辅助设计是微电子技术极为重SU PREM 的初期版本即可对硅集成平面工艺进行要的组成部分, 也是发展最活跃的领域。作为从事微一维模拟, 对集成电路平面工艺制造过程的模拟基电子技术的科技人员, 应尽快掌握集成电路设计自于为每一步工序所建立起的相应的工艺模型, 用数动化( ICDA ) , 应用ICDA 技术将会大大减小集成电学物理方法来描述工艺加工的动态过程、工艺过程路的设计周期和设计与生产成本。集成电路工艺的中各条件之间的依赖关系及工艺加工的结果。计算机仿真系统又是ICDA 中的重要组成部分

 

 

 


©2009,Copyright By TOMEDA IC Design & Services. EDA软件及IC设计服务 沪ICP备09034103号